Физика тонких пленок- М.Х.Франкомба том6 Описаны наиболее современные методы получения анодированных пленок, их физические и физико-химические свойства (при этом особое внимание уделено изоляционным характеристикам), рассмотрены классические и квантовые размерные эффекты в металлических и полуметаллических пленках и нитях, изложена математическая теория оптических свойств тонких и ультратонких металлических пленок, в частности анизотропных пленок; даны детальные обзоры многослойных структур из магнитносвязанных ферро- и антиферромагнитных металлических пленок и физических основ процессов диффузии в металлических пленках. Книга представляет большой интерес для специалистов, работающих в области физики тонких пленок и их приложений; она может служить также весьма ценным пособием для лиц, начинающих свою деятельность в соответствующих областях. ПРЕДИСЛОВИЕ К АНГЛИЙСКОМУ ИЗДАНИЮ
Очередной шестой том серии «Физика тонких пленок» содержит пять критических обзоров, касающихся самых различных аспектов тонкопленочных исследований; основное место отводится пленкам металлов. Из представленных материалов с очевидностью вытекает, что наряду с большими успехами в традиционных направлениях тонкопленочных исследований значительное внимание уделяется относительно менее изученным проблемам, причем «современное состояние исследований этих вопросов достигло стадии, на которой представляется целесообразным их обзорный анализ.
Настоящий выпуск открывается статьей С. Дж. Дель'Ока, Д. Л. Пулфри и Л. Янга «Анодные окисные пленки», в которой обсуждаются успехи, достигнутые в этой области с момента опубликования хорошо известной монографии Л. Янга под таким же названием. Особый интерес представляет обсуждение последних работ по газовому и плазменному анодированию, отличающихся дискуссионным характером, а также анализ процессов поляризации, проводимости и электрического пробоя анодных пленок.
Современное состояние исследований размерных эффектов электропроводности тонких металлических пленок рассматривается в обзоре Д. К- Ларсона, касающегося как классического, так и квантового размерных эффектов, а также недавних исследований анизотропии эпитаксильных металлических пленок.
В следующем обзоре, принадлежащем Ф. А. Абелесу, трактуются оптические свойства пленок металлов (главным образом в теоретическом аспекте).
Две последние главы посвящены соответственно взаимодействиям в многослойных магнитных пленках (А. йелон) и диффузии в пленках металлов (К. Уивер). В первой из них обсуждаются некоторые новые аспекты обменного взаимодействия, его влияние на перемагничивание и использование в устройствах магнитной памяти; во второй анализируются последние работы по диффузии, представляющие наибольший интерес для лиц, интересующихся процессами старения биметаллических пленочных систем.
М. Франкомб
л Р. Гофман
Февраль 1971 г. '
СОДЕРЖАНИЕ
Предисловие к английскому изданию................. 5
!• Анодные окисиые пленки. С. Д ж. Дел ь'О к а, Д. Л. П у л ф р и,
Л. Я н г (перевод А. С. Даревского)............... 7
I. Введение.......................... 7
II. Обзор некоторых основных характеристик анодирования ... 8
1. Поле перенапряжения.................. 8
2. Подложки........................ g
3. Методы получения: анодирование при постоянном токе . . 11
4. Мгновенные значения ионной проводимости: нестационарные процессы...................... 16
5. Анодирование при постоянном напряжении........ 18
6. Термическая рекристаллизация пленок пятиокиси тантала
и ниобия......................... 20
7. Фотостимулированный рост................ 20
III. Теории ионной проводимости................ 21
1. Введение........................ 21
2. Классические работы................... 21
3. Аномалия наклона Тафеля и теория Дюальда...... 23
4. Нестационарные процессы: генерация дефектов по Френкелю электрическим полем ................ 24
5. Эффективное поле Дигнама. Теория медленной поляризации при нестационарных процессах в постоянном поле . . 25
6. Модель с двухзначной длиной активации......... 28
7. Аморфные окислы: изменчивость и распределение параметров узлов....................... 28
8. Нелинейная зависимость Ig / от Е..........• • 29
9. Объяснение нелинейной зависимости Ig/ от Е...... 31
10. Доказательства подвижности двух сортов ионов..... '»
11. Эллипсометрические доказательства двухслойности . ... 3°
12. Теории подвижности при переносе ионов двух сортов . . 41
13. Новая интерпретация экспериментальных данных по ионной проводимости на основе двухслойной модели....... ™-
14. Основные данные по ионной проводимости........
15. Границы применимости классической модели и необходи-мость рассмотрения нормальных мод колебаний...... .„
16. Влияние электронов на ионную проводимость....... 4g
IV. Газовое анодирование ................... 48
1. Введение........................ 49
2. Методы получения плазмы................ gg
3. Обсуждение экспериментальной методики........ дд
4. Результаты....................... g2
5. Возможные механизмы роста окисных пленок ..••<•
V. Диэлектрические свойства ................. 65
1- Введение ........................ ™>
2. Процессы поляризации.................. °'
3. Электронный перенос на постоянном токе........ 79
4. Диэлектрический пробой................. 82
2> Размерные эффекты в электропроводности тонких металлических
пленок и проволок. Д. К- Л а р с о н (перевод Э. М. Эпштейна) , 97
I. Введение.......................... 97
II. Теория классических размерных эффектов.......... 98
1. Объемная проводимость................. 98
2. Тонкие пленки...................... 100
3. Тонкие провэлоки.................... 103
4. Параметр зеркальности................. 105
5. Анизотропия монокристалла............... 107
6. Температурная зависимость............... ПО
7. Измерения на одном образце............... 117
III. Экспериментальные измерения............... 118
1. Приготовление образцов................. 118
2. Эксперименты с тонкими* пленками............ 121
3. Эксперименты с тонкими проволоками.......... 137
4. Температурная зависимость............... 144
5. Обсуждение экспериментальных результатов....... 152
IV. Квантовые размерные эффекты............... 158
1. Теория.......................... 158
2. Экспериментальные измерения.............. 161
3> Оптические свойства металлических пленок. Ф. А б е л е с (Перевод
Э. М. Эпштейна)........................ 171
I. Введение.......................... 171
II. Оптические свойства металлов............... 172
III. Формулы для тонких однородных и изотропных металлических
пленок........................... 175
1. Определения и обозначения............... 175
2 Формулы ........................ 176
3. Примеры......................... 178
IV. Очень тонкие пленки.................... 191
1. Отражение и пропускание................ 191
2. Эллиптическая поляризация света при отражении и пропускании .......................... 197
V. Анизотропные пленки.................... 197
1. Общие выражения.................... 197
2. Интенсивности...................... 199
3. Фазы.......................... 200
4. Полное отражение.................... 200
5. Очень тонкие анизотропные пленки............ 201
VI. Измерение оптических параметров металлических пленок . . 203
1. Фотометрические измерения............... 203
2. Поляриметрические измерения.............. 207
3. Интерферометрические измерения............ 208
4. Комбинированные методы................ 208
VII. Специфические оптические свойства тонких металлических
пленок........................... 210
1. Вводные замечания................... 210
2. Аномальный скин-эффект в тонких пленках ...'... 211
3. Оптические плазменные резонансы в тонких пленках ... 217
4. Оптические свойства, связанные со структурой пленки . . 221
4> Взаимодействия в многослойных пленочных магнитных структурах.
А. И е л о н (перевод Н. Н. Кирюхина).............228
I. Введение.......................... 228
II. Типы взаимодействия.................... 231
1. Прямое обменное взаимодействие............. 231
* 2. Ферромагнитно-антиферромагнитная связь (обменная анизотропия) ........................ 237
3. Магнитостатическая связь пленок............ 249
4. Магнитостатическая связь доменных стенок....... 253
5. Дырочная и косвенная связи............... 268
6. Разделение эффектов связи. Комбинация эффектов .... 275
III. Эффекты связи....................... 278
1. Квазистатическое перемагничивание (намагниченность в каждом слое постоянна).................. 279
2. Квазистатическое перемагничивание Намагниченность непостоянна по толщине слоя............... 290
3. Импульсное перемагничивание.............. 300
4. Резонансные явления................... 303
5. Доменная структура взаимодействующих пленок..... 306
6. Анизотропия высших порядков и спиральная анизотропия . 310
IV. Применения многослойных пленок.............. 322
1. Системы памяти со считыванием с разрушением информации 323
2. Системы памяти со считыванием без разрушения информации 324
3. Некоторые другие применения.............. 326
V. Заключение......................... 326
5i Диффузия в металлических пленках. К. У и в е р (перевод А. С. Да-
ревского)............................334
I. Введение.......................... 334 {
II. Металлические системы................... 334 '
1. Системы с неограниченной растворимостью........ 334
2. Системы с ограниченной растворимостью......... 337
3. Системы с интерметаллическими соединениями...... 338
III. Экспериментальные методы................. 343
IV. Экспериментальные результаты............... 350
1. Системы с интерметаллическими соединениями...... 350
2. Системы с неограниченной растворимостью........ 373 '.
3. Продольная диффузия.................. 377 ,
V. Заключение......................... 383
Указатель авторов .......................... 389

Hosted by uCoz